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　　金融界2025年2月28日动静，国度学问产权局消息显示，江西万骏光电无限公司取得一项名为“一种弥补边缘效应提高刻蚀平均性的弥补环布局”的专利，授权通知布告号 CN 222530373 U，申请日期为2024年1月。专利摘要显示，本适用新型供给一种弥补边缘效应提高刻蚀平均性的弥补环布局。包罗刻蚀托盘，所述刻蚀托盘核心通过导热硅油固定有待刻GaAs晶圆，所述待刻GaAs晶圆外侧套有刻蚀弥补环，刻蚀布局中充有夹杂气体。定制取被刻蚀晶圆高度分歧的刻蚀弥补环，刻蚀弥补环内径比晶圆外径稍大。刻蚀时将刻蚀弥补环环套正在晶圆外围，达到扩大晶圆等效面积的目标，实现弥补边缘效应提高刻蚀平均性的结果。这种工艺只需按照晶圆尺寸提前定制一刻蚀弥补环耗材，不额外添加工艺步调，操做简单易实现，出产成本低，是一种低成本、简单易行的弥补边缘效应提高刻蚀平均性的方式。天眼查材料显示，江西万骏光电无限公司，成立于2020年，位于上饶市，是一家以处置计较机、企业注册本钱6000万人平易近币，通过天眼查大数据阐发，江西万骏光电无限公司参取招投标项目7次，学问产权方面有商标消息1条，专利消息14条，此外企业还具有行政许可6个。